Kapacitiva MEMS-accelerometrar är accelerometrar som mäter med variabel kapacitans. Dessa kapacitiva MEMS-accelerometrar kan därmed mäta ner till 0 Hz (DC-respons). Kapacitiva MEMS-accelerometrar är idealiska för att mäta lågfrekventa vibrationer, rörelse (konstant acceleration) och även lutning. Med intern gasdämpning och överbelastningsskydd klarar också Endevcos kapacitiva MEMS-accelerometrar att mäta lågfrekventa vibrationer direkt efter att ha  utsatts för en chockpuls i variabla temperaturer.