Kapacitiva MEMS-accelerometrar används för att mäta lågfrekvensrörelse ner till noll Hertz. Dessa accelerometrar används i applikationer som strukturell övervakning, rymdvibrationsprovning, komfortmätningar och gravitationsmätningar. MEMS-serien erbjuder mätområden hela vägen  från ± 2 g till ± 200 g. Dessa MEMS-sensorer har lågt spektralt brus ochhög upplösning.