MEMS DC-sensorer används för att mäta lågfrekvensrörelse ner till noll Hertz. Dessa accelerometrar används i applikationer som strukturell övervakning, rymdvibrationsprovning, komfortmätningar och gravitationskraftsmätningar. MEMS serien erbjuder ett måttområde i full skala från ± 2 g till ± 200 g. Dessa MEMS sensorer har lågt spektralt brus med hög upplösning.